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49299金鹰国际IT产业中比光刻机更贵一些的单体设

更新时间:2019-10-08

  INTEL22nm光刻工艺设备的供应商ASML提供的光刻机为“NXT:1950i”,每台平均售价4000万欧元(5440万美元),负责40%的前道(FEOL)光刻层;尼康的光刻机则是“S620D”,报价3000万美元,负...

  INTEL 22nm光刻工艺设备的供应商 ASML提供的光刻机为“NXT:1950i”,每台平均售价4000万欧元(5440万美元),负责40%的前道(FEOL)光刻层;尼康的光刻机则是“S620D”,报价3000万美元,负责60%的后道(BEOL)光刻层。

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  这个不好说,光刻机也是有便宜有贵的,那种二手的nikon的G线型机,或者老式的佳能价格一般可能20万都不到,但是像阿斯迈尔或者nikon的14型连体作业机价格会贵上好几倍,那些大束流中束流注入机也不便宜,好一些电子显微镜都很贵的,飞利浦的XL系列那种大腔体的电子显微镜要上百万,不是一般工艺线上的那种测线宽的设备,而是多用途的那种,一般用于失效性分析跟切片的。光刻在整条工艺线中成本最高并不是因为光刻机,而是光刻胶,49299金鹰国际那玩意儿成本差不多一滴一块钱,几批产品走下来钱就炸舌了,绝对不是像腐蚀几瓶酸几瓶氨水,注薄几块靶那么省事的。


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